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材料性能
项目
规格
检测方法
生长方式
直拉法
--
结晶性
单晶
--
导电类型
P型
P/N型测试仪
尺寸
M10：182.2*182.2*φ247mm
G12： 210*210*φ295mm
硅片自动检测设备
厚度
M10：150±10µm
140±10µm
G12：150±10µm
硅片自动检测设备
项目:
生长方式
规格:
直拉法
检测方法:
--
项目:
结晶性
规格:
单晶
检测方法:
--
项目:
导电类型
规格:
P型
检测方法:
P/N型测试仪
项目:
尺寸
规格:
M10：182.2*182.2*φ247mm
G12： 210*210*φ295mm
检测方法:
硅片自动检测设备
项目:
厚度
规格:
M10：150±10µm
140±10µm
G12：150±10µm
检测方法:
硅片自动检测设备
电性能
项目
规格
检测方法
电阻率
0.4-1.1 Ω.cm
硅片自动检测设备
少子寿命
≥70μs
准稳态光电导衰减法/瞬态光电导衰减法
注入水平：1E15 cm⁻³（Sinton BCT-400）
氧含量
≤7.5E+17 at/cm³
傅里叶变换红外光谱仪
碳含量
≤ 5E+16 at/cm³
傅里叶变换红外光谱仪
项目:
电阻率
规格:
0.4-1.1 Ω.cm
检测方法:
硅片自动检测设备
项目:
少子寿命
规格:
≥70μs
检测方法:
准稳态光电导衰减法/瞬态光电导衰减法
注入水平：1E15 cm⁻³（Sinton BCT-400）
项目:
氧含量
规格:
≤7.5E+17 at/cm³
检测方法:
傅里叶变换红外光谱仪
项目:
碳含量
规格:
≤ 5E+16 at/cm³
检测方法:
傅里叶变换红外光谱仪